一、抽氣速率下降（真空度達不到要求或抽氣變慢） 現(xiàn)象 泵的極限真空度明顯升高（如原本能到 10?2Pa，現(xiàn)只能到 1Pa）； 抽氣時間顯著延長，無法快速達到目標(biāo)真空。 常見原因 泵油污染（混入灰塵、水分、雜質(zhì)，或油因高溫氧化變質(zhì)）； 密封件老化（進排氣口密封圈、軸封磨損，導(dǎo)致大氣泄漏）； 旋片或定子磨損（旋片端部與定子內(nèi)壁間隙增大，氣體無法有效壓縮）； 氣鎮(zhèn)閥未關(guān)嚴（若未抽除水蒸氣，氣鎮(zhèn)閥開啟會導(dǎo)致空氣泄漏）。 維修方法 更換泵油： 停機后打開放油閥，徹底排空舊油（建議用同型號新油沖洗 1-2 次，清除殘留雜質(zhì)）； 按泵的規(guī)格加注專用真空泵油（油位需在油標(biāo) “MAX” 與 “MIN” 之間，不可過多或過少）。 檢查 / 更換密封件： 拆卸進排氣口法蘭，查看密封圈是否變形、開裂，若損壞則更換同規(guī)格氟橡膠或丁腈橡膠密封圈； 檢查軸封（位于轉(zhuǎn)子軸與泵殼連接處），若有滲油或漏氣，更換軸封組件。 修復(fù)或更換磨損部件： 拆卸泵殼，檢查旋片是否磨損、崩角（若磨損輕微，可輕微打磨端部；磨損嚴重則需更換旋片）； 查看定子內(nèi)壁是否有劃痕或凹陷，若磨損嚴重需更換定子（需保證轉(zhuǎn)子與定子的偏心度符合原廠標(biāo)準(zhǔn)）。 檢查氣鎮(zhèn)閥：關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，觀察真空度是否回升；若氣鎮(zhèn)閥密封不良，拆解后清潔閥芯或更換氣鎮(zhèn)閥墊片。